1675 wurde der Kreuzweg mit 1.600 Eichenschösslingen als Allee angelegt. Die Bäume sollten den Pilgern Schatten spenden und in der Art der barocken Landschaftsgestaltung den Weg in der Landschaft markieren.
Entlang des Prozessionsweges standen mehrere Stationsbilder mit Sandsteinreliefs, auf denen Szenen aus der Passionsgeschichte dargestellt sind. Anfangs waren es in Coesfeld nur sieben Stationen. Sie folgten in Thematik und Ausgestaltung einer Beschreibung des Jesuiten Jodokus Andries (1588–1658), dessen Hauptwerk (Perpetua crux Jesu Christi) 1642 in Münster gedruckt wurde. Der in Coesfeld tätige Prämonstratensermönch Leonhard Goffine (1648–1719) definiert 1687 in seiner berühmten „Handpostille“ einen „Creutzweg“ dementsprechend als „sieben Stillstände“ und auch in der Zeit um 1700 ist in Coesfeld noch von den „sieben Fußfällen“ am Kreuzweg die Rede. Erst Anfang des 18. Jahrhunderts erweiterte man die Reihe auf 18 Stationsbilder. Da die ersten drei Stationen beidseitig mit Bildszenen ausgestattet wurden, kam man somit auf insgesamt 21 Passionsbilder entlang des Weges.
Bereits vor 1660 hatte der Fürstbischof die Prozession auf den Pfingstdienstag verlegt und dabei das Kreuz mitführen lassen. Diese „Kreuztracht“ wurde ein großer Erfolg und es ist in dieser Zeit von knapp 15.000 Teilnehmer:innen die Rede. In seinem Testament stiftete Christoph Bernhard von Galen noch eine weitere Prozession mit dem Kreuz am Fest Kreuzerhöhung (14. September), die 1683 zum ersten Mal stattfand.